关注我们

检测服务:0571-85026664

质量投诉:0571-85025361

:浙江省杭州市江干区下沙路300号一号楼B区

当前位置:首页 » 新闻动态 » 外媒报道

1纳米是多少不能随便量 要看这个计量标准的规矩

发布时间:2017-04-14来源:阅读:

转自:2017年04月13日 浙江日报新闻客户端

链接:http://zj.zjol.com.cn/news/610840.html


制造领域几乎所有的创新和技术进步都离不开纳米技术,而纳米计量不仅是测量和表征纳米尺度器件的基础,也是微电子、微机械、超精密加工、纳米医学、纳米生物学等领域中不可回避的关键科学与技术问题。记者今天从浙江省计量科学研究院获悉,日前,该院“扫描探针显微镜校准装置”通过了专家组现场考核,建立了省内首个纳米计量领域社会公用计量标准。

“中国是世界纳米科技大国,构建了庞大的纳米制造研发和生产体系,拥有数十万台纳米测量仪器。但是纳米计量技术、测试仪器和传递标准却相对较少,制约了我国纳米制造技术和相关行业的进一步发展。”据浙江省计量科学研究院长度与光学计量研究所副所长茅振华介绍,目前,在国家计量基标准资源共享平台项目“微纳计量标准技术在华东地区的专题服务”的支持下,经过两年多的研究,该院已基本具备微纳几何结构关键尺寸的计量校准能力,建立了我省的纳米计量量值传递的社会公用计量标准,可为半导体企业、精密加工中心的关键尺寸测量提供量值溯源至国家基准的途径,更加全面准确地为半导体、微电子行业的纳米尺度关键尺寸检测提供技术保障。

据茅振华介绍,由于商业扫描探针显微镜(SPM)没有激光干涉计量框架,无法实现量值的直接溯源,在XYZ三维方向的微纳尺寸测量只能依靠压电陶瓷执行器上的应变片/电容传感器。应变片/电容传感器在安装过程中可能产生误差、并且随着时间的推移也会累积误差,因此需要建立SPM校准装置校准商业SPM中的测量误差。

目前,浙江省计量科学研究院的扫描探针显微镜校准装置由5个纳米台阶高度标准样板构成,标称值分别为50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm,相对不确定度为Urel=2.8%~0.6%(k=2),标准样板均由纳米几何结构计量标准装置进行绝对法定值,定值结果可直接溯源至激光波长国家基准。该校准装置已经达到国内领先水平,能够校准如扫描探针显微镜(SPM)、原子力显微镜(AFM)、台阶仪、轮廓仪等多种微纳米级测量仪器。